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STEC |
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SEC-400 / 500 SEC-E400J SEC-E40/-50/-60/-70/-80 SEC-4400 SEC-4001 SEC-V100DM SEC-F700 FM |
I mass flow controllers rispondono alle esigenze più rigide, per tutti i tipi di applicazione in cui vi sia la necessità di monitorare e regolare il flusso di gas di processo. Grazie all'elevata qualità delle componenti meccaniche ed elettroniche, l'errore di lettura è molto più basso dei normali flussimetri (1% rispetto al fondo scala per tutti i modelli analogici), la ripetibilità è dello 0,2% rispetto al fondo scala, e la regolazione della portata è molto veloce (valvole di regolazione a solenoide o a diaframma). Inoltre, i materiali di costruzione (acciaio inox AISI 316L, guarnizioni in Viton o metalliche, a seconda dell'applicazione) ne consentono l'uso con la maggior parte dei gas di processo. La misurazione della portata non è influenzata dalla temperatura ambiente, dalla pressione del gas e dalla posizione di montaggio. I principali componenti di un mass flow controller sono il sensore, il bypass, la valvola di regolazione e le guarnizioni.
Il bypass si trova a valle del sensore, ed è generalmente costituito da "lamelle" circolari in acciaio inossidabile di spessore molto ridotto, oppure da un "cono" metallico. Il suo scopo principale è di diffondere uniformemente il flusso di gas all'interno dello strumento, e, visto che all'interno del sensore passa una ridottissima percentuale del gas totale, di calcolare il flusso totale rapportandolo al flusso del sensore. La valvola
di regolazione può essere di tre tipi: Le guarnizioni possono essere elastomeriche oppure metalliche, in modo da garantire un uso adatto a tutti i tipi di gas. |
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Viton è un marchio registrato della duPont Dow Elastomers